Feature

Auto Gate Powder Protection Valve 역압 방지 밸브 기능 ( Close Time < 0.2sec) → Pump Trip & 정전 시 Wafer 보호

직관 유로형 역압 차단 Valve : 기존 Check Type 역압 차단 밸브의 Conductance 개선( 직관형 유로 )

수직 개폐형 Valve : Sealing 면의 긁힘이나 훼손을 방지하며 정확한 Valve Close 가 가능

적용 공정 : CVD ,ETCH, DIFFUSION 등의 POWDER 공정 및 부식 공정 ( 300mm, 450mm process, LCD line )
Compact 한 디자인과 중량이 가벼워 설치 및 service 가 용이

Specification

P/N

RSPV-XXX-AG-RS485

Body

AL6061(Specialized Coated)

Plate

Al 6061 - Specialized Coated

(Hard Coat. Surface Polishing)

Size( mm, Ø )

MF100

H 189

D 280

MF125

H 189

D 325

MF160

H 190

D 399

Connection(flange)

 MF100/MF125/MF160

External Leak Rate

1 x 10-8  mbar, He

Internal Leak Rate

1 x 10-8  mbar, He

Heated ( Body )

150℃  Heated ( Option )

Valve Status 통신

485  Valve Status 통신 (Option)

Speed of Response (sec)

( Emergency  State)

<0.15 sec       (Open to close)

<0.2 sec for MF160     (Open to close)